Capteur de pression piézorésistif
Une jauge de contrainte à résistance est l'un des principaux composants d'un capteur de contrainte piézorésistif. Le principe de fonctionnement d'une jauge de contrainte à résistance métallique est basé sur le phénomène selon lequel la résistance de la jauge de contrainte adsorbée sur le substrat change avec la déformation mécanique, communément appelée effet de déformation par résistance.
Capteur de pression en céramique
Un capteur de pression en céramique est basé sur l'effet piézorésistif. La pression agit directement sur la surface avant d'un diaphragme en céramique, provoquant une légère déformation. Une résistance à couche épaisse-est imprimée à l'arrière du diaphragme en céramique, formant un pont de Wheatstone. En raison de l'effet piézorésistif de la résistance piézorésistive, le pont génère un signal de tension hautement linéaire, proportionnel à la pression et également proportionnel à la tension d'excitation. Les signaux standard sont calibrés à 2,0/3,0/3,3 mV/V, etc., en fonction de la plage de pression, et sont compatibles avec les capteurs à jauge de contrainte.
Capteur de pression en silicium diffusé
Le principe de fonctionnement d'un capteur de pression diffusé au silicium repose également sur l'effet piézorésistif. Grâce à ce principe, la pression du fluide mesuré agit directement sur le diaphragme du capteur (en acier inoxydable ou en céramique), provoquant un micro-déplacement du diaphragme proportionnel à la pression du fluide. Cela entraîne une modification de la résistance du capteur. Les circuits électroniques détectent ce changement et émettent un signal de mesure standard correspondant à cette pression.
Capteur de pression saphir
Utilisant le principe de la jauge de contrainte, ce capteur utilise du silicium-saphir comme élément de détection semi-conducteur, possédant des caractéristiques métrologiques inégalées. Par conséquent, les éléments de détection semi-conducteurs en silicium-saphir sont insensibles aux changements de température et présentent d'excellentes caractéristiques de fonctionnement même à des températures élevées ; le saphir a une forte résistance aux radiations ; de plus, les éléments de détection semi-conducteurs en silicium-saphir n'ont pas de dérive p-n.
Capteur de pression piézoélectrique
L'effet piézoélectrique est le principe de fonctionnement principal des capteurs piézoélectriques. Les capteurs piézoélectriques ne peuvent pas être utilisés pour les mesures statiques car la charge après application d'une force externe n'est préservée que lorsque le circuit a une impédance d'entrée infinie. Comme ce n’est pas le cas dans la réalité, les capteurs piézoélectriques ne peuvent mesurer que des contraintes dynamiques.